根据瓦森纳协定的规定,只有满足国外和国内技术相差1.5代,才能解除禁运 。由于我国研发成功90nm制程的光刻机,同时中科院的“紫外光超分辨率光刻设备”研制成功,光刻分辨率可达22nm,ASML已经开始生产5nm制程的光刻机,所以才解除了7nm制程的光刻机“禁售令”,中芯国际获得了一台 。
虽然中芯国际拥有了一台7nm制程的ASML光刻机,但是有很多使用限制,不能给自主CPU代工,也就是不能给龙芯、申威等自主CPU代工和商业化量产,很大程度上影响了自主技术的发展 。
总之,我国的光刻机技术与国外先进技术还是有一定差距的,在高端光刻机领域几乎没有“备胎”,所以美国针对华为的“禁售令”,华为通过备胎芯片、备胎操作系统一一解决,但是却无法制造高端芯片,需要依靠台积电等代工,华为能不能挺住,台积电是关键 。
众所周知,光刻机的大佬是荷兰的ASML(阿斯麦)公司,占领了全球80%的光刻机市场 。我国的上海微电子有限公司研发和生产光刻机,但是差距有点儿大,华为目前没有研制自己的光刻机 。下文具体说一说 。
1、我国的光刻机
ASML的高端光刻机为7nm光刻机,并且7nm EUV光刻机只有ASML可以生产,据说ASML已经准备生产5nm的光刻机 。上海微电子(SMEE)的光刻机为90nm制程 ,差距还是有些远的 。正是上海微电子90nm制程的光刻机下线之后,ASML才决定给中芯国际提供一台7nm的光刻机,其中的奥妙大家可以推测 。
上海微电子和ASML在光刻机上的差距客观反映了我国和西方精密制造领域的差距, ASML一台顶级的7nm EUV光刻机的关键零件来自于不同西方国家,美国的光栅、德国的镜头、瑞典的轴承、法国的阀件等, 这些顶级零件对于中国都是禁运的,所以ASML说“即便给你全套的图纸,你也造不出来” 。
2、国外光刻机的“技术封锁”
ASML的顶级光刻机售价非常高,一台1.2亿美元,但是即便有钱,我国也很难买到 。最主要的原因可能就是《瓦森纳协定》的限制 ,由美国、日本、英国、荷兰等40个成员国组成,限制向某些国家出口敏感产品和技术许可,而这个禁售名单就包括我国大陆,比如捷克拟向我国出口“无源雷达设备”时,就遭到了美国的横加阻拦,被迫中止交易 。
根据瓦森纳协定的规定, 只有满足国外和国内技术相差1.5代,才能解除禁运。由于我国研发成功90nm制程的光刻机,同时中科院的“紫外光超分辨率光刻设备”研制成功,光刻分辨率可达22nm,ASML已经开始生产5nm制程的光刻机,所以才解除了7nm制程的光刻机“禁售令”,中芯国际获得了一台 。
虽然中芯国际拥有了一台7nm制程的ASML光刻机,但是有很多使用限制, 不能给自主CPU代工 ,也就是不能给龙芯、申威等自主CPU代工和商业化量产,很大程度上影响了自主技术的发展 。
总之,我国的光刻机技术与国外先进技术还是有一定差距的,在高端光刻机领域几乎没有“备胎”,所以美国针对华为的“禁售令”,华为通过备胎芯片、备胎操作系统一一解决,但是却无法制造高端芯片,需要依靠台积电等代工,华为能不能挺住,台积电是关键 。
光刻机产业是高度垄断的行业,目前全球仅有4家厂商可以生产制造,它们分别是荷兰的阿斯麦(ASML)、日本的尼康(Nikon)、佳能(Canon)和中国的上海微电子(SMEE) 。其中高端市场仅有ASML,在中低端市场中也同样处于优势地位,总的来说一家独占7成以上市场 。
华为有没有研制自己的光刻机,可以参考中国目前唯一的光刻机玩家SMEE的研发历程 。
上海微电子公司背靠国家,且拥有国内顶尖的科研机构予以支持,不缺钱不缺人的前提几十年只专注与研发光刻机这一件事下也仅仅只有90nm光刻样机可以投产使用 。
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