传感器的分类、特点及应用 。介绍了国内外在智能传感器领域的研究进展，重点介绍了基于mems技术的智能传感器的发展现状及发展趋势 。全书共分10章，第1章至第9章为绪论，主要介绍了mems传感器的基本概念、特点及应用 。第10章至第14章为各章的内容提要，包括绪论、基本概念、基本原理和应用实例 。本书可作为高等院校微电子专业的教材，也可作为从事mems传感器研究的科技人员的参考书 。
传感器（transducer/sensor）是一种能够探测、感受外界的信号、物理条件（如光、热、湿度）或化学组成（如烟雾）的装置或器件 。它是实现自动检测和自动控制的基础 。
一、传感器的分类
1．按工作原理分类
传感器根据工作原理可分为物理传感器和化学传感器两大类 。其中，物理传感器应用的是物理原理，诸如压电效应、磁致伸缩现象以及热电、光电、磁电、离化、极化等原理 。化学传感器应用的是化学吸附、电化学反应原理，被测信号量的微小变化会被转换成电信号 。目前，大多数传感器是以物理原理为基础运作的 。随着技术的发展和成本的降低，化学传感器将会得到更广泛的应用 。2．按用途分类
传感器按用途可分为压力敏和力敏传感器、位置传感器、液面传感器、能耗传感器、速度传感器、加速度传感器、射线辐射传感器、湿敏传感器、热敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等 。目前，常见的是热敏传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、速度传感器等 。
3．按构成材料分类
传感器按构成材料的类别可分为金属传感器、聚合物传感器、陶瓷传感器、混合物传感器，按材料的物理性质传感器可分为导体传感器、绝缘体传感器、半导体传感器、磁性材料传感器，按材料的晶体结构传感器分为单晶传感器、多晶传感器、非晶材料传感器 。
4．按制造工艺分类
传感器按制造工艺可分为集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器、陶瓷传感器 。常见的传感器是集成传感器、陶瓷传感器和厚膜传感器 。
二、传感器的特性
1．传感器的静态特性
传感器的静态特性是指传感器输入静态信号后，传感器的输出量与输入量之间所具有的相互关系 。传感器静态特性主要包括线性度、灵敏度、分辨力和迟滞等参数 。
（1）灵敏度
灵敏度是指传感器在稳态工作情况下，输出量变化Δ
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