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半导体应变片是利用半导体单晶硅的压阻效应制成的一种敏感元件 。半导体应变片需要粘贴在试件上测量试件应变或粘贴在弹性敏感元件上间接地感受被测外力 。利用不同构形的弹性敏感元件可测量各种物体的应力、应变、压力、扭矩、加速度等机械量 。半导体应变片与电阻应变片相比 , 具有灵敏系数高(约高 50~100倍)、机械滞后小、体积小、耗电少等优点 。电感式压力传感器 电感式压力传感器是用电感线圈电感量变化来测量压力的仪表 。
【微型压力传感器价格 微型压力传感器工作原理】常见的有气隙式和差动变压器式两种结构形式 。气隙式的工作原理是被测压力作用在膜片上使之产生位移 , 引起差动电感线圈的磁路磁阻发生变化 , 这时膜片距磁心的气隙一边增加 , 另一边减少 , 电感量则一边减少.另一边增加 , 由此构成电感差动变化 , 通过电感组成的电桥输出一个与被测压力相对应的交流电压 。具有体积小、结构简单等优点 , 适宜在有振动或冲击的环境中使用 。
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差动变压器式的工作原理是被侧压力作用在弹簧管_L , 使之产生与压力成正比的位移 , 同时带动连接在弹簧管末端的铁心移动 , 使差动变压器的两个对称的和反向串接的次级绕组失去平衡 , 输出一个与被测压力成正比的电压.也可以输出标准电流信号与电动单元组合仪表联用构成自动控制系统 。
电容式压力传感器
电容式压力传感器是利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器 。特点是 , 低的输入力和侏儒能量 , 高动态响应 , 小的自然效应 , 环境适应性好 。
它一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极 , 当薄膜感受压力而变形时 , 薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化 , 通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号 。电容式压力传感器属于极距变化型电容式传感器 , 可分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器 。
单电容式压力传感器
它由圆形薄膜与固定电极构成 。薄膜在压力的作用下变形 , 从而改变电容器的容量 , 其灵敏度大致与薄膜的面积和压力成正比而与薄膜的张力和薄膜到固定电极的距离成反比 。另一种型式的固定电极取凹形球面状 , 膜片为周边固定的张紧平面 , 膜片可用塑料镀金属层的 *** 制成 。这种型式适于测量低压 , 并有较高过载能力 。还可以采用带活塞动极膜片制成测量高压的单电容式压力传感器 。这种型式可减小膜片的直接受压面积 , 以便采用较薄的膜片提高灵敏度 。它还与各种补偿和保护部以及放大电路整体封装在一起 , 以便提高抗干扰能力 。这种传感器适于测量动态高压和对飞行器进行遥测 。单电容式压力传感器还有传声器式(即话筒式)和听诊器式等型式 。
差动电容式压力传感器
它的受压膜片电极位于两个固定电极之间,构成两个电容器 。在压力的作用下一个电容器的容量增大而另一个则相应减小 , 测量结果由差动式电路输出 。它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成 。过载时膜片受到凹面的保护而不致破裂 。差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好 , 但加工较困难(特别是难以保证对称性) , 而且不能实现对被测气体或液体的隔离 , 因此不宜于工作在有腐蚀性或杂质的流体中 。谐振式压力传感器
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