光刻机是干嘛的 光刻机的简介

【光刻机是干嘛的 光刻机的简介】

光刻机是干嘛的 光刻机的简介

文章插图
1、光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片的核心装备 。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上 。光刻机的种类可分为:接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光 。
2、光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上 。然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图 。

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