典型高性能mems陀螺的比较分析

一般在手机上使用-0 陀螺instrument,即MEMS陀螺instrument,广泛应用于航模、手机、相机上,mems-1 。其基本原理如下:mems 陀螺仪器通常有两个方向的可移动电容极板,陀螺仪器按结构分有很多种:1机械陀螺2 EMS硅陀螺3 EMS应时陀螺4激光陀螺5静电,数模接入有数字输出,所以接IO口I2C或SPI模拟,AD三轴集成一般是MEMS silicon 陀螺和ADIS16355,用的比较多,要根据你要求的精度来选择 。

1、MEMS传感器的研究现状1、微机械压力传感器微机械压力传感器是微机械技术中发展最早、最成熟、产业化程度最高的微机械产品 。从信号检测方式上,MEMS压力传感器可分为压阻式和电容式,分别基于体微加工技术和牺牲层技术制造 。从敏感膜结构来看 , 有圆形、方形、矩形、E形等多种结构 。压阻式压力传感器的精度可达0.05% ~ 0.01%,

温度误差0.0002%,耐压可达几百MPa,过压保护范围可达传感器量程的20倍以上,可在大范围内进行全温度补偿 。目前,MEMS压力传感器的主要发展方向如下 。(1)将敏感元件与信号处理、校准、补偿和微控制器集成在一起,研制出智能压力传感器 。(2)进一步提高压力传感器的灵敏度 , 实现低量程微压传感器 。(3)提高工作温度,研制高低温压力传感器 。
【典型高性能mems陀螺的比较分析】
2、MEMS系统的资料征集微机电系统(MEMS)是一个全新的研发领域 , 必须同时考虑各种物理场的混合效应 。与传统机械相比,它们的体积更小,最大的不到一厘米 , 甚至只有几微米,厚度更小 。硅基材料具有优异的电学性能 。硅材料的强度、硬度、杨氏模量与铁相近,密度与铝相近,热导率与钼、钨相近 。

3、 陀螺仪传感器有哪些种类?模拟信号数字信号?数字信号的话得接入哪里...三轴陀螺仪器具有SPI和I2C输出 。VTI公司的CMR3000传感器是世界上最小的三轴角速度传感器,功耗最低(陀螺 instrument) 。CMR3000采用节能设计,功耗仅为5mA , 是目前业界同类型传感器中功耗最低的 。此外 , 它还可以在定期运行期间进一步节能百分之十,这几乎使遥控器等便携式设备的电池寿命延长了一倍,并显著改善了用户体验 。

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