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mfc是什么板材 mfc是什么( 二 )

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6. 质量流量计的缺点是什么? 使用质量流量控制器最害怕什么?相对廉价的转子流量计来说, 质量流量计的主要缺点就是价格比较昂贵 。使用质量流量控制器有四怕: 第一怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器; 第二怕液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流; 第三怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理; 第四怕在使用强腐蚀性、易燃易爆、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失 。正确使用, 安全操作, 对每个用户都是最重要的 。
7. 质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差 。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于最低值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于最高值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S 。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定 。
8. 质量流量控制器在高压条件下如何使用?质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 第一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 第二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 第三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围 。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作 。
9. 使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品?部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源(如用丙酮等), 气压很低, 用普通MFC, 不能正常工作 。这时用户需要向供货商特别声明, 定制低压降的质量流量控制器 。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC, 这时MFC的工作压差范围, 也会变小 。注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在MFC中结露, 结露会影响MFC的正常工作 。为了防止结露, 可以对管路和MFC适当加温, 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃ 。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温MFC产品 。
10. 质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料? 质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料 。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失 。通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类 。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料 。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体 。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属密封的MFC 。由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC 。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体 。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶 。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 有机溶剂汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡胶; 三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等——需要采用全氟橡胶 。

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