锐客网

  1. 首页 > 睿知 > >

mfc是什么板材 mfc是什么( 四 )

睿知经验知识


15. 一定要按实际使用气体标定显示吗？ 不一定 。按实际实际使用气体标定显示，显示的是实际气体的流量, 比较直观 。但在很多的实际应用场合，只需要找到一个合适的流量参数并保证测量和控制的重复性，至于该气体的实际质量流量是多少，用户并不是特别关心 。在这种情况下，您直接使用厂家的标准出厂产品（氮气标定显示）也可以 。当然，如前面所提到的，您在选定流量规格时，需要换算一下，以选择合适的量程 。对于某些用户，同一个产品有时可能会通不同的气体，这种情况下，直接使用氮气标定出厂的产品更方便 。
16. 怎样进行不同气体的质量流量换算？ 产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格 。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体，当流量检测值相同时，实际的流量值可能不同 。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气）的质量流量转换系数 。如果您使用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而需要知道实际使用气体的质量流量时，先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数 。在测量过程中，以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量；反之，在确定所购产品的量程时，以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定产品的流量值 。空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体，其转换系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气标定显示的产品，不必换算 。
17. 不同气体的流量转换系数是怎样得出来的? 混合气体的转换系数如何计算?气体的流量转换系数理论上取决于该气体在标准状态下的密度和比热, 以及气体的分子构成系数 。常用的单组份气体，其转换系数可在厂家产品技术说明书中查得；如果知道该气体的密度和比热, 也可以用下面的基本公式计算出来 。气体质量流量转换系数C的基本公式： C=0.3106 N /ρ(Cp)其中： ρ——为气体的密度CP——为气体的定压比热N ——为气体分子构成系数（与该气体分子构成的组份有关, 见下表）气体分子构成系数表气体分子构成 举 例 N 取 值单原子分子 Ar He 1.01双原子分子 CO N2 1.00三原子分子 CO2 NO2 0.94多原子分子 NH3 C4H8 0.88
如果是多组份混合气体（假定由n种气体组成），按下列公式计算其转换系数C： 0.3106 [N1 (ω1/ωT )+N2 (ω2/ωT ) + ??? + Nn (ωn/ωT )] C = ———————————————————————— ρ1Cp1 (ω1/ωT )+ ρ2Cp2 (ω2/ωT )+ ??? + ρnCpn (ωn/ωT)
其中 : ω1 …ωn ——为相应气体的流量 ωT ——为混合气体的流量 ρ1…ρn ——为相应气体的密度 (数值见产品技术说明书) CP1…CPn ——为相应气体的定压比热 (数值见产品技术说明书) N1 … Nn ——为相应气体的分子构成系数 注意: 如果混合气体的混合比例不固定, 将无法计算出转算系数 。
18. MFM/MFC的使用方面有什么注意事项？ (1)注意阅读产品说明书及有关资料(2) 注意轻拿轻放妥善保管MFM/MFC比较精密，应避免受到撞击和强烈振动 。产品不用时注意放在较好的环境中妥善保管 。(3) 注意系统设计用户购买MFM/MFC后，往往要组建一个系统 。建议在系统设计时，不要仅仅考虑功能的实现，还要考虑系统的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易维护性﹑易扩充性等因素 。以下给出几点具体建议：A. 注意加装过滤器，以净化气源，延长MFM/MFC的使用寿命 。B. 对于反应系统，建议在MFC的出气端加装单向阀，以防止异常情况下反应物倒流损坏 MFC 。C. 对于高压系统，应在MFC的下游加装背压阀（或其它节流装置）及压力表，以便于保证MFC的工作压差 。D. 对于硅烷这样的遇空气易形成结晶的气体，应特别注意系统的密闭性（检漏时不要忽视减压器），必要时设计吹洗旁路，随时进行氮气吹洗或正压保持 。E. 对于要求比较高的气路系统, 注意气路接头尽量减少并采用VCR等接头 。对于使用有害气体的系统，必须严格检漏 。气路柜应有排风系统, 防止对人员和设备的损伤 。F. 有高频源的系统应注意屏蔽并特别注意处理好接地问题，例如采用单点接地 。G. MFM/MFC的安装位置应易于装卸﹑检测﹑调零，并安全可靠 。H. 对可靠性要求极高的系统，应注意冗余设计 。(4) 注意正确使用操作对于比较复杂的系统或使用有害气体的系统，应当制定完善的安全操作规程, 防止发生误操作 。(5) 注意使用气体与流量计的密封材料相适应我厂生产的流量计通常采用的密封材料是氟橡胶，能适合大多数气体的使用，包括HCL这样的强腐蚀性气体 。但对于氨气，必须使用耐氨橡胶；对于有机溶剂类气体，如丙酮、甲苯等，必须使用硅橡胶；对于使用三氯化硼、三溴化硼等强腐蚀性介质，必须使用四氟密封或金属密封的流量计 。用户在订货和使用中必须特别注意 。(6) 注意定期标定质量流量计原则上应当定期标定 。

推荐阅读


上一篇：风吹草低见牛羊的见是什么意思,填序号 风吹草低见牛羊的见是什么意思

下一篇：神态自若的神什么意思 神态自若的意思