【单晶硅生产工艺流程 单晶硅生产工艺流程图】单晶硅是用于制造太阳能电池、集成电路、光电器件等高端产品所需的重要材料，其生产需要经过一系列复杂的工艺流程 。在单晶硅的生产过程中，需要采用一系列高温高压的化学反应和物理处理，以使硅原材料逐步结晶并形成高质量的单晶硅棒 。本文将为大家详细介绍单晶硅的生产工艺流程，从硅原料准备、晶体生长、切割加工等多个方面进行阐述 。
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单晶硅片加工工艺主要为： 切断→外径滚圆→切片→倒角→研磨→腐蚀、清洗等 。切断：是指在晶体生长完成后，沿垂直与晶体生长的方向切去晶体硅头尾无用的部分，即头部的籽晶和放肩部分以及尾部的收尾部分 。通常利用外圆切割机进行切割 。外圆切割机刀片边缘为金刚石涂层 。这种切割机的刀片厚，速度快，操作方便；但是刀缝宽，浪费材料，而且硅片表面机械损伤严重 。目前，也有使用带式切割机来割断晶体硅的，尤其适用于大直径的单晶硅 。外径滚圆：在直拉单晶硅中，由于晶体生长方时的热振动，热冲击等原因，晶体表面都不是非常平滑的，也就是说整根单晶硅的直径有一定偏差起伏；而且晶体生长完成后的单晶硅棒表面存在扁平的棱线，需要进一步加工，使得整根单晶硅棒的直径达到统一，以便于在后续的材料和加工工艺中操作 。切片：在单晶硅滚圆工序完成后，需要对单晶硅棒切片 。太阳电池用单晶硅在切片时，对硅片的晶向，平行度和翘曲度等参数要求不高，只需对硅片的厚度进行控制 。倒角：将单晶硅棒切割成晶片，晶片锐利边需要休整成圆弧形，主要防止晶片边缘破裂及晶格缺陷产生 。研磨：切片后，在硅片的表面产生线痕，需要通过研磨除去切片所造成的锯痕及表面损伤层，有效改善单晶硅的翘曲度、平坦度与平行度，达到一个抛光处理的过程规格 。腐蚀、清洗：切片后，硅片表面有机械损伤层，近表面晶体的晶格不完整，而且硅片表面有金属粒子等杂质污染 。因此，一般切片后，在制备太阳能电池前，需要对硅片进行化学腐蚀 。在单晶硅片加工过程中很多步骤需要用到清洗，这里的清洗主要是腐蚀后的最终清洗 。清洗的目的在于清除晶片表面所有的污染源 。常见清洗的方式主要是传统的RCA湿式化学清洗技术 。
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