有谁知道工业机器人有什么特点么?了解的说下呗?( 二 )


有谁知道工业机器人有什么特点么?了解的说下呗?

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真空机器人
真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人 。主要应用于半导体工业中 。实现晶圆在真空腔室内的传输 。真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强 。其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件 。而且国外对中国买家严加审查 。归属于禁运产品目录 。真空机械手已成为严重制约我国半导体设备整机装备制造的“卡脖子”问题 。直驱型真空机器人技术属于原始创新技术 。
关键技术包括:
(1)真空机器人新构型设计技术:通过结构分析和优化设计 。避开国际专利 。设计新构型满足真空机器人对刚度和伸缩比的要求;
(2)大间隙真空直驱电机技术:涉及大间隙真空直接驱动电机和高洁净直驱电机开展电机理论分析、结构设计、制作工艺、电机材料表面处理、低速大转矩控制、小型多轴驱动器等方面 。
(3)真空环境下的多轴精密轴系的设计 。采用轴在轴中的设计方法 。减小轴之间的不同心以及惯量不对称的问题 。
(4)动态轨迹修正技术:通过传感器信息和机器人运动信息的融合 。检测出晶圆与手指之间基准位置之间的偏移 。通过动态修正运动轨迹 。保证机器人准确地将晶圆从真空腔室中的一个工位传送到另一个工位 。(5)符合SEMI标准的真空机器人语言:根据真空机器人搬运要求、机器人作业特点及SEMI标准 。完成真空机器人专用语言 。(6)可靠性系统工程技术:在IC制造中 。设备故障会带来巨大的损失 。根据半导体设备对MCBF的高要求 。对各个部件的可靠性进行测试、评价和控制 。提高机械手各个部件的可靠性 。从而保证机械手满足IC制造的高要求 。
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洁净机器人
洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人 。随着生产技术水平不断提高 。其对生产环境的要求也日益苛刻 。很多现代工业产品生产都要求在洁净环境进行 。洁净机器人是洁净环境下生产需要的关键设备 。
关键技术包括:
(1)洁净润滑技术:通过采用负压抑尘结构和非挥发性润滑脂 。实现对环境无颗粒污染 。满足洁净要求 。
(2)高速平稳控制技术:通过轨迹优化和提高关节伺服性能 。实现洁净搬运的平稳性 。
(3)控制器的小型化技术:根据洁净室建造和运营成本高 。通过控制器小型化技术减小洁净机器人的占用空间 。
(4)晶圆检测技术:通过光学传感器 。能够通过机器人的扫描 。获得卡匣中晶圆有无缺片、倾斜等信息 。
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其他观点:
回答一个本行业的问题 。
工业机器人在制造业生产中已经有40年 。1959年第一台液压驱动的工业机器人制造出来之后 。1972年日本的发那科将伺服电机引入机器人驱动方式中 。开始了同步伺服驱动的先河 。
经历了半个多世纪的发展 。主要形成了这5中工业机器人 。2017年AGV也被划归到工业机器人范畴 。
有谁知道工业机器人有什么特点么?了解的说下呗?

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想明白工业机器人的特点基本上涵盖在三个方面:
工业机器人是什么构成的?
工业机器人为啥能够做到可编程使用?
工业机器人的:精度 。重复定位精度 。刚性 。柔性 。协作化都是什么含义?
接下来一个一个说:
一、工业机器人是由什么构成的?
有谁知道工业机器人有什么特点么?了解的说下呗?

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一张我自制的图 。来说明一下机器人的结构 。
在机器人行业中分为:多关节机器人 。平面多关节机器人(也叫scara机器人) 。delta机器人(也叫蜘蛛手 。或者并联机器人) 。还有协作机器人 。以及AGV小车 。
但是不管是什么类型的机器人 。第一点就要了解的是机器人是按照“轴”的数量 。轴的并联 。串联形式来区分的 。
增加一个知识点:为什么要明白轴的数量 。轴的串联和并联结构?
我们常说的机器人运动 。其实是我们在三维空间中 。拟定出一个坐标 。这个坐标是以机器人的底座为坐标原点(有的机器人厂商是以机器人零点为坐标原点规划的坐标轴) 。
有谁知道工业机器人有什么特点么?了解的说下呗?

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Estun 机器人仿真软件中 。进行的基于坐标邢台控制的机器人 。右侧的六个不断变化的数字 。那就是机器人在运动中 。每一个关节旋转角度的变化 。

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