FDTD学习笔记|Lumerical官方案例、FDTD时域有限差分法仿真学习(十五)——表面等离子共振纳米光刻

【FDTD学习笔记|Lumerical官方案例、FDTD时域有限差分法仿真学习(十五)——表面等离子共振纳米光刻】案例链接:Surface plasmon resonant nanolithography
此示例说明如何创建表面等离子体共振纳米光刻接触掩模的 FDTD 模型。 FDTD 布局编辑器中显示了石英基板(蓝色)、银接触掩模(灰色)、光刻胶(粉红色)和硅晶片(红色)的 2D 横截面,以及仿真中使用的源和监视器。
FDTD学习笔记|Lumerical官方案例、FDTD时域有限差分法仿真学习(十五)——表面等离子共振纳米光刻
文章图片

一、官网原文
要重现以下结果,请打开并运行模拟文件。 使用脚本文件创建以下图。
通过银掩模层(y = 0 到 60 nm)和光刻胶层(y = -50 到 0 nm)的横截面中的近场强度图以对数刻度显示。 在银掩模/光刻胶界面可以清楚地看到表面等离子体模式。 周期性结构允许垂直入射光束耦合到反向传播的表面等离子体波,这会导致光刻胶层内近场强度的亚波长变化。
FDTD学习笔记|Lumerical官方案例、FDTD时域有限差分法仿真学习(十五)——表面等离子共振纳米光刻
文章图片

光刻胶层中间的近场光强度,在接触掩模下方 30 nm,被绘制为位置的函数。 所示的高对比度允许将最小尺寸约为 80 nm 的图案转移到光刻胶上。 使用表面等离子体实现的这种亚波长结果远低于 436 nm 光源的衍射极限,因此适用于纳米光刻应用。
FDTD学习笔记|Lumerical官方案例、FDTD时域有限差分法仿真学习(十五)——表面等离子共振纳米光刻
文章图片

二、解释模型
如果是直接从监视器观察结果,则会因为最大最小光强相差较大,显示如下。
FDTD学习笔记|Lumerical官方案例、FDTD时域有限差分法仿真学习(十五)——表面等离子共振纳米光刻
文章图片

而如果利用官网给的脚本文件,画出对数图。
FDTD学习笔记|Lumerical官方案例、FDTD时域有限差分法仿真学习(十五)——表面等离子共振纳米光刻
文章图片

就能够直接地观察得到亚波长特征。

    推荐阅读