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为硅芯炉 。
钼是金属,而硅是半导体,因此它们的电学性质不同,电器设备也有所不同 。
(1)硅芯炉的加热电器设备 。由于硅是半导体,所以硅芯在常温下的电阻很大,需要高压
启动(高压击穿) 。一般对棒还原炉的高压启动电压
为6000V,转人中压时电压为700~ 950V,电流在
30A左右 。而目前对棒还原炉的高压启动电压已超
出12000V 。
因此除了要有一套低压电器设备外,还需要增加
—套高压击穿和一套中压装置 。
还原炉启动时用高压击穿 。当硅芯被电流击穿,
而且温度也稳定后,再送人低压电 。送人低压电后硅
芯就进入了正常生长期,由细变粗,渐渐地变成了硅
【巧手燃气灶维修电话_燃气灶维修教学】棒 。随着硅芯变粗,还原炉的加热电源的电压和电流
也随之变化 。
硅棒在不断生长,电功率在不断加大,电流也随之在不断升高,而电压却渐渐变低,从髙压变中压,最后变成低压 。
(2)钼芯炉的加热电器设备 。由于是金属,常温下的电阻较小,不用高压击穿,所以钼芯炉的加热电器设备是单独的低压设备,比较简单,其加热系统主要是由电源、钼芯、调压器或磁放大器及控制系统组成的 。
钼芯炉在生产过程中,需要电源的电压、电流能够随载体的电阻变化而变化,并且始终能将载体的表面温度保持在还原反应所需的温度范围内 。在由调压器组成的钼芯炉加热系统中,载体的表面温度的控制是靠人工或微机指令控制系统调节调压器来完成的;在由磁放大器组成的钼芯炉加热系统中,载体的表面温度的控制是靠人工或微机指令控制系统调节磁放大器来完成的 。
以上两种电器设备体积很大,而且一台要用数跫很大的铜线和硅钢片 。近几十年来,可控硅整流器得到应用,使多晶硅还原炉的电器部分体积和重量大大减小了,而且用铜量少多了 。这给多晶硅还原炉电器的发展开创了一条新路 。
可控硅调压器虽好,但要注意,为还原炉供电不宜使用可控硅整流的直流调压器,而一定要使用可控硅交流调压器 。
实践证明,直流供电比用一般交流供电耗电更多,特别是当硅棒长粗后,容易烧断硅棒 。其原因是,经该可控硅调压器后送到还原炉里的是直流电 。直流电在硅棒截面的分布较均匀,按理说,硅棒的整个截面的温度分布也应是较均匀的,可实际上并非如此,而是截面芯部的温度要高于外表 。
其原因是,四氣化硅和三氣氢硅的氢还原都是吸热反应,硅棒表面的热量要供给还原反应,因此才造成截面芯部的温度髙、表面温度低的现象 。硅棒长粗后,当外表满足还原反应的温度要求时,其芯部温度已经很高,甚至接近硅的熔点,而使硅棒烧断 。

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